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什么是MEMS技术及其应用优势？

文章编辑：深圳市广陵达科技有限公司发表时间：2025-12-23 18:55:27

什么是 MEMS 技术？

微机电系统（MEMS）是一种可定义为晶圆级微型机械和机电元件的技术。这使得 MEMS 技术能够嵌入到可以集成在印刷电路上的芯片上，就像任何其他电子元件一样。

设备由集成微电子控制下的机电元件（移动或不动）组成。

MEMS 的功能元件是微型结构、传感器、执行器和微电子器件。微传感器和微执行器被归类为传感器，是将测量的机械信号转换为电信号的设备。

微机电系统（MEMS）工作原理.jpg

微型传感器现在可用于各种测量，例如温度、压力、磁场或惯性测量。

我们的 IMU 选用了高质量的 MEMS 元件。与机械或 FOG 陀螺仪或伺服加速度计等竞争技术相比，这种 MEMS 技术具有许多优势：

• 微型设计提供了更小、更轻的产品，从而能够覆盖新的应用。

• 该技术非常坚固，具有更高的抗冲击性以及免维护操作。

• 与 FOG 或 RLG 等其他技术相比，MEMS 设计提供了具有成本效益的解决方案。

MEMS性能

尽管相同的 MEMS 技术也用于智能手机和平板电脑等消费类应用，但低成本 MEMS 与导航级 MEMS 传感器之间存在非常大的性能差距。

MEMS微型传感器.jpg

振动处理

IMU 专为恶劣环境而设计。具体的发展带来了高效的振动处理。

当受到振动时，加速度计或陀螺仪的偏差会增加。这种振动对加速度计的影响称为 VRE。因此，一个好的起点是选择具有低 VRE 的传感器，以承受更高水平的振动。

第二点是设计高效的硬件和软件信号处理，特别是高频采样（>1kHz）将防止混叠问题并提高传感器数据分辨率。

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