美蓓亚三美 MMS101 微型6分量力/力矩传感器-

美蓓亚三美 MMS101 微型6分量力/力矩传感器

一、产品介绍

日本美蓓亚三美（MinebeaMitsumi）MMS101 是一款6轴力扭矩传感器，它具有3轴力和3轴力矩。 MMS101 采用MEMS芯片和金属结构的混合结构，实现6轴检测。 MMS101 在其模块中内置了 AFE IC，并产生数字输出 (SPI)。用于矩阵运算的校正系数（去除其他轴干扰分量）存储在 AFE IC 内的存储器中。由于可以在测量开始前立即读取它们，因此用户无需控制传感器和校正系数。

此外，MMS101 模块中内置的 LDO 可降低噪音。本产品极其小巧轻便，适用于机器人手的指尖。

二、产品特点

微型尺寸：Φ9.6(W) × 9.0(H) mm。
重量轻：3 g。
高载荷范围： Fx, Fy, Fz：200N / Mx, My, Mz：1.8N・m。
额定量程范围： Fx, Fy, Fz：40N / Mx, My, Mz：0.4N・m。
内置LDO降噪：
Fx, Fy：0.04N RMS / Fz：0.06N RMS。
Mx, My：0.0004N・m RMS / Mz：0.0008N・m RMS。
通过内置序列器（SPI）数字输出6轴数据。

三、技术规格

（1）力/扭矩传感器性能指标
测试条件(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V)
指标		符号	条件	最小	典型值	最大	单位
工作电压	FxFyFz	FRES	--	--	0.001	--	N
工作电压	MxMyMz	MRES	--	--	0.00001	--	N・m
有效分辨率（备注1）	FxFy	FEresxy	--	--	0.04	--	N
	Fz	FEresz	--	--	0.06	--	N RMS
	MxMy	MEresxy	--	--	0.0004	--	N・m/RMS
	Mz	MEresz			0.0008	--	N・m /RMS
线性度(备注1)		FL	FS=40N or	-1	--	1	%FS
线性度(备注1)		ML	0.4N・m	-1	--	1	%FS
滞后		FHys	FS=40N or	-1	--	1	%FS
滞后		MHys	0.4N・m	-1	--	1	%FS
测量精度 (备注1)		FAcc	FS=40N or	-5	--	5	%FS
测量精度 (备注1)		MAcc	0.4N・m	-5	--	5	%FS
转换时间		tcon	--	--	781.25	--	usec
延时		tlat	转换时间：典型值; 通讯时钟：1MHz; 无延迟切换 AFE 访问	--	--	2	msec
备注1: 图表中的值是使用我们的评估设备和电路板的测量结果

（2）电气指标
模拟指标(T= 25℃, VDD = 4.3 V, VDDIO = 3.3 V)
指标	符号	条件	最小	典型值	最大	单位
VDD 电流消耗	IVDDact	测试工况	--	--	10	mA
VDDIO 电流消耗	IVDDIOact	测试工况	--	--	20	uA
数字I/O 指标(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V)
指标	符号	条件	最小	典型值	最大	单位
高电平输入电压	VIH	--	0.8 × VDDIO	--	VDDIO + 0.3	V
低电平输入电压	VIL	--	-0.3	--	0.2 × VDDIO	V
输出电压高电平	VOH1	VDDIO ≧ 2.0V, Iload = -3mA	VDDIO - 0.4	--	--	V
输出电压高电平	VOH2	VDDIO ＜ 2.0V, Iload = -1mA	0.8 × VDDIO	--	--	V
输出电压低电平	VOL1	VDDIO ≧ 2.0V, Iload = 3mA	--	--	0.4	V
输出电压低电平	VOL2	VDDIO ＜ 2.0V, Iload = 1mA	--	--	0.2 × VDDIO	V

（3）尺寸规格

推荐的FPC连接器：	FH28D-20S-0.5SH (HIROSE ELECTRIC CO.,LTD)

（4）传感器坐标
坐标原点是传感器顶面中心

四、应用领域

应用实例

应用于机械手、夹具	应用于检验流程设备等

Adin Robotics AFT20-D15 超小型六轴力/扭矩传感器 Bota Systems MegaONE FT 6轴力扭矩传感器

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