MinebeaMitsumi MMS101 微型6轴/分量力/力矩传感器，日本美蓓亚三美原装进口

产品分类Product series

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日本美蓓亚三美 MMS101 微型6分量力/力矩传感器

详情说明

一、MMS101 微型6分量力/力矩传感器介绍

日本美蓓亚三美（MinebeaMitsumi）MMS101 是一款6轴力扭矩传感器，它具有3轴力和3轴力矩。 MMS101 采用MEMS芯片和金属结构的混合结构，实现6轴检测。 MMS101 在其模块中内置了 AFE IC，并产生数字输出 (SPI)。用于矩阵运算的校正系数（去除其他轴干扰分量）存储在 AFE IC 内的存储器中。由于可以在测量开始前立即读取它们，因此用户无需控制传感器和校正系数。

此外，MMS101 模块中内置的 LDO 可降低噪音。本产品极其小巧轻便，适用于机器人手的指尖。

二、MMS101 微型6分量力/力矩传感器的特点

• 微型尺寸：Φ9.6(W) × 9.0(H) mm；

• 重量轻：3 g；

• 高载荷范围： Fx, Fy, Fz：200N / Mx, My, Mz：1.8N・m；

• 额定量程范围： Fx, Fy, Fz：40N / Mx, My, Mz：0.4N・m；

MMS101 传感器的载荷及量程范围

• 内置LDO降噪：

• Fx, Fy：0.04N RMS / Fz：0.06N RMS；

• Mx, My：0.0004N・m RMS / Mz：0.0008N・m RMS；

• 通过内置序列器（SPI）数字输出6轴数据。

三、MMS101 微型6分量力/力矩传感器的技术规格

（1）力/扭矩传感器性能指标
测试条件(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V)
指标		符号	条件	最小	典型值	最大	单位
理论分辨率	FxFyFz	FRES	-	-	0.001	-	N
理论分辨率	MxMyMz	MRES	-	-	0.00001	-	N・m
有效分辨率(备注1)	FxFy	FEresxy	-	-	0.04	-	N
	Fz	FEresz	-	-	0.06	-	N RMS
	MxMy	MEresxy	-	-	0.0004	-	N・m/RMS
	Mz	MEresz	-	-	0.0008	-	N・m /RMS
线性度(备注1)		FL	FS=40N or	-1	-	1	%FS
线性度(备注1)		ML	0.4N・m	-1	-	1	%FS
滞后		FHys	FS=40N or	-1	-	1	%FS
滞后		MHys	0.4N・m	-1	-	1	%FS
测量精度 (备注1)		FAcc	FS=40N or	-5	-	5	%FS
测量精度 (备注1)		MAcc	0.4N・m	-5	-	5	%FS
转换时间		tcon	-	-	781.25	-	usec
延时		tlat	转换时间：典型值; 通讯时钟：1MHz; 无延迟切换 AFE 访问	-	-	2	msec
备注1: 图表中的值是使用我们的评估设备和电路板的测量结果

（2）电气指标
模拟指标(T= 25℃, VDD = 4.3 V, VDDIO = 3.3 V)
指标	符号	条件	最小	典型值	最大	单位
VDD 电流消耗	IVDDact	测试工况	-	-	10	mA
VDDIO 电流消耗	IVDDIOact	测试工况	-	-	20	uA
数字I/O 指标(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V)
指标	符号	条件	最小	典型值	最大	单位
高电平输入电压	VIH	-	0.8 × VDDIO	-	VDDIO + 0.3	V
低电平输入电压	VIL	-	-0.3	-	0.2 × VDDIO	V
输出电压高电平	VOH1	VDDIO ≧ 2.0V, Iload = -3mA	VDDIO - 0.4	-	-	V
输出电压高电平	VOH2	VDDIO ＜ 2.0V, Iload = -1mA	0.8 × VDDIO	-	-	V
输出电压低电平	VOL1	VDDIO ≧ 2.0V, Iload = 3mA	-	-	0.4	V
输出电压低电平	VOL2	VDDIO ＜ 2.0V, Iload = 1mA	-	-	0.2 × VDDIO	V